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本发明公布的三轴步进电机控制平台，用于晶圆检测显微镜三轴的位置控制。包括有ＡＲＭ处理器、现场可编程逻辑门阵列ＦＰＧＡ、步进电机驱动器、手柄控制模块和用于Ｘ、Ｙ、Ｚ轴步进电机位置反馈的光栅尺等，现场可编程逻辑门阵列ＦＰＧＡ内部建立有Ｘ、Ｙ、Ｚ...
该专利属于芯硕半导体(中国)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯硕半导体(中国)有限公司授权不得商用。

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