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在一实施方案中，本发明涉及一种湿蚀刻组合物，其包括过氧化氢、有机鎓氢氧化物和酸。在另一实施方案中，本发明涉及一种相对周围结构选择性地湿蚀刻金属氮化物的方法，该周围结构包含一种或多种硅、氧化硅、玻璃、ＰＳＧ、ＢＰＳＧ、ＢＳＧ、氮氧化硅、氮化硅...
该专利属于塞克姆公司所有，仅供学习研究参考，未经过塞克姆公司授权不得商用。

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