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单片式蚀刻装置（１０）是一边使将半导体坯料切片而得到的薄圆板状的晶片（１１）旋转、一边对晶片（１１）的上表面（１１ａ）供给蚀刻液（１５）而将晶片（１１）的上表面（１１ａ）及边缘面（１１ｂ）蚀刻的装置。除了对晶片（１１）的上表面（１１ａ供给蚀...
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