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本发明公开了一种全自动晶圆测试方法及实现该测试方法的设备，该方法包含扫描片盒、取片、粗调、送片、精确对准、测试与放回晶圆各步骤，实现全自动晶圆测试方法的设备，它包括在机架上设置的置片及数片装置，在置片及数片装置一侧的机架上设有晶圆传输装置，...
该专利属于无锡市易控系统工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市易控系统工程有限公司授权不得商用。

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