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用于微电子元件的金属互连结构制造技术
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下载用于微电子元件的金属互连结构的技术资料
文档序号:3172437
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提供了一种互连结构以及制造所述互连结构的方法。所述互连结构包括具有构图的开口的介质层、在所述构图的开口中设置的金属特征、以及覆盖所述金属特征的介质帽。所述介质帽具有内部拉伸应力,所述应力有助于避免产生沿离开所述金属线路的方向的电迁徙,特别是...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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