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利用阴影掩模进行电子器件制造的方法和设备技术
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文档序号:3172045
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电子器件被形成在通过多个沉积容器逐渐形成的衬底上。每一个沉积容器都包括沉积材料源,并至少具有两个与之相关的阴影掩膜。这两个掩膜中的每一个交替地定位在对应沉积容器内,以通过在掩膜定位中的孔,将沉积材料图案成形到衬底上,并定位在邻近的清洗容器中...
该专利属于阿德文泰克全球有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿德文泰克全球有限公司授权不得商用。
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