下载制作光感应器的方法的技术资料

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一种制作光感应器的方法。该方法包括:提供一基板,其包括一薄膜晶体管区域以及一光感应区域;于该基板上形成一图案化第一导电层;于该基板与该栅极表面形成一栅极介电层;于该栅极上方的该栅极介电层表面形成一图案化非晶硅层;于该基板上形成一图案化第二导...
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