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一种可分离式侦测视窗，适于装设在等离子体反应室的侧壁上。可分离式侦测视窗包括底座以及中空管件。其中，底座具有第一结合部，而中空管件的一端具有第二结合部。底座与中空管件通过第一结合部与第二结合部的连接而组合成可分离式侦测视窗。...
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