温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的课题是改善ＰＢＮ材料表面与金属的润湿性来扩大使用用途。本发明的解决方法是在硅基板１０的表面注入氢离子，并在硅基板１０的表面附近的规定深度形成离子注入区域１１，且对该硅基板１０的主面施行以表面洁净化或表面活化等为目的的等离子体处理或臭...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。