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脆性材料基板的划线形成方法及划线形成装置制造方法及图纸
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文档序号:3170969
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本发明涉及脆性材料基板的划线形成方法及划线形成装置,所述形成方法及形成装置能够沿着划线直线性良好地对脆性材料基板进行分割。利用激光束以低于脆性材料基板的软化点的温度沿着划线的形成预定线对脆性材料基板表面进行加热,并且在加热后立即对加热区域进...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。
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