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本发明实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器,该声表面波谐振器包括衬底;位于衬底上的压电层;电极层位于压电层远离衬底的一侧;电极层包括叉指式换能器,叉指式换能器包括:第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指;第二汇...该专利属于江苏卓胜微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏卓胜微电子股份有限公司授权不得商用。
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本发明实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器,该声表面波谐振器包括衬底;位于衬底上的压电层;电极层位于压电层远离衬底的一侧;电极层包括叉指式换能器,叉指式换能器包括:第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指;第二汇...