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一种形成金属接点与连线于片板上的方法，该方法至少包含：　　　　沉积抗反射涂层于该片板的表面上；　　　　形成用于金属化接点的光阻材料的图案于该片板的该表面上；　　　　固化该光阻材料；　　　　利用该光阻材料的该图案来蚀刻该抗反射涂层；　　　　清...
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