下载半导体装置及其形成方法的技术资料

文档序号:3170530

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一种半导体装置,其中的第一栅极结构包含直接与基底接触的栅极介电层、位于栅极介电层上的下电极与位于下电极上的上电极;而第二栅极结构包含直接与基底接触的栅极介电层以及位于栅极介电层上的栅电极。...
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