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对侧向外延生长技术做一些新的改变就可以获得高质量的独自的ＧａＮ，其中３Ｄ岛或特征采用改变生长参数来获得。通过设置生长条件加强侧向生长从而获得平坦的岛（２Ｄ生长）。３Ｄ－２Ｄ生长的循环将导致穿透位错的多次弯曲，从而得到厚层或穿透位错密度低于１...
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