下载一种GaN基发光二极管及其制造方法的技术资料

文档序号:3168754

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本发明公开了一种GaN基发光二极管及其制造方法,利用有机金属气相沉积技术在衬底上生长出GaN半导体层,该层包括N型氮化镓层,发光区及P型氮化镓层;利用镀膜技术在半导体层上蒸镀一层透明导电层,该蒸镀厚度d为2000~4000,形成透明导电...
该专利属于上海蓝光科技有限公司;北京大学;上海半导体照明工程技术研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过上海蓝光科技有限公司;北京大学;上海半导体照明工程技术研究中心授权不得商用。

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