温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种研磨垫整理装置，包括支撑臂和修正盘，其特征在于：所述支撑臂上还安装有吸附器，所述吸附器包含磁性收集体，所述修正盘上镶有由不锈钢材料制成的颗粒，且所述磁性收集体与所述颗粒中一个为磁体，另一个为磁体或磁性材料。...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。