下载复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法的技术资料

文档序号:31682766

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本发明的复合烧结体含有作为主相的金属氧化物、作为副相的碳化硅及金属氧化物中所含的金属元素的硅酸盐,放大倍率1000倍下的600μm2的视场内的硅酸盐的平均凝集直径为5μm以下。以下。以下。
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