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一种导出终端返回电流以在离子注入期间调节和／或补偿束流变化的方法。从离子注入系统的区域获得一个或多个单独的逆向电流测量值，从所述的逆向电流测量值导出终端返回电流或复合逆向电流。然后为了促进目标晶片上的束流均匀性，所述终端返回电流用来调节离子...
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