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本案揭示了一种离子束电流均匀度监控器、离子注入机及相关的方法。在一实施例中，所述离子束电流均匀度监控器（１５）包括：离子束电流测量器，包括多数个测量装置（１７），以测量离子束（１２）内多个位置的电流；以及控制器（１８），以根据所述离子束电流...
该专利属于瓦里安半导体设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦里安半导体设备公司授权不得商用。

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