温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种在目标衬底中制作具有高的高宽比值的工艺，其特征在于包括： 将一个目标衬底放在超高真空环境中； 产生一个计算机数据文件，该计算机数据文件用于操作计算机控制的聚焦离子束以便在所述目标衬底中形成一个研磨的微结构；以及 将所述...
该专利属于加里福尼亚大学董事会所有，仅供学习研究参考，未经过加里福尼亚大学董事会授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。