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一种用于单晶硅片加工后的储存装置制造方法及图纸
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下载一种用于单晶硅片加工后的储存装置的技术资料
文档序号:31591681
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本实用新型涉及硅片加工技术领域,且公开了一种用于单晶硅片加工后的储存装置,包括盒体与盒盖,所述盒体侧壁开设有导向孔,所述盒体内壁设置有滑槽和隔板,所述盒体内部设有底板,所述底板边缘固定连接有滑块和清理刷,所述滑块与滑槽滑动连接,所述清理刷与...
该专利属于浙江众晶电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江众晶电子有限公司授权不得商用。
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