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一个下中心阀零件，该下中心阀安装在该基座零件的中心并且在其上表面具有一组沟槽和一组作为真空通道的形成于该沟槽之中并穿过该沟槽的通孔；一个上中心阀零件，该上中心阀零件可相对于下中心阀零件转动，并且具有一组作为真空通道的形成于上中心阀之上的通孔...
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