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利用热灯丝ＤＣ等离子体沉积使金刚石成核和生长的方法和设备。该设备采用电阻式加热的灯丝组离解反应物气体中的氢。对于二面的金刚石生长，使用基底－热灯丝－栅极－热灯丝－基底的结构，或基底－热灯丝－热灯丝－基底的结构。对于后一种结构，用两个独立的灯...
该专利属于CVD金刚石公司所有，仅供学习研究参考，未经过CVD金刚石公司授权不得商用。

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