下载微小间距电极及其形成方法以及微小间距电极单元的技术资料

文档序号:3158528

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一种微小间距电极,可高精度等间隔设定微小电极线,同时提高生产率和品质。该微小间距电极11具有:微小电极线12,周围用由绝缘物组成的覆盖膜覆盖;封闭构件19,把该多根微小电极线12成面状地配置固定。...
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