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本发明公开了一种快速磨抛金刚石晶圆的方法。具体的，在磨抛机上，利用自修整冻干凝胶砂轮磨抛金刚石晶圆，完成金刚石晶圆的快速磨抛；本发明将凝胶体依次经过真空干燥、冷冻干燥，得到自修整凝胶砂轮用冻干凝胶块；再与基体结合，得到自修整冻干凝胶砂轮。本...
该专利属于苏州赛尔特新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州赛尔特新材料有限公司授权不得商用。

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