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电子源设有作为导电衬底的ｎ型硅衬底、由氧化的多孔多晶硅构成的偏移层及作为导电薄膜的表面电极。表面电极的形成工艺包括在偏移层上形成Ｃｒ构成的第一层，在第一层上形成Ａｕ构成的第二层，并使这两层形成合金。表面电极具有对偏移层的较高粘附性和长期稳定...
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