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本发明涉及尺寸上较小和工作在较高效率下的粒子束加工设备。该加工设备包括粒子束产生部件，箔片支撑部件，和加工部件。在粒子束产生部件中，例如电子的粒子云是通过加热至少一个钨丝产生的。然后，电子被引出以高速到达被设置在比粒子束产生部件更低电压的箔...
该专利属于能源科学公司所有，仅供学习研究参考，未经过能源科学公司授权不得商用。

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