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等离子体发生器制造技术
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文档序号:31561212
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本公开涉及等离子发生技术领域,提供了一种等离子体发生器,其包括阳极组件、阴极组件、气体发生组件和第一加热组件;阳极组件包括等离子腔室、气体入口和喷嘴,气体入口用于向等离子腔室通入气体,喷嘴设置于等离子腔室的末端以向外排出等离子体;阴极组件具...
该专利属于新奥科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新奥科技发展有限公司授权不得商用。
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