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一种用于加工工件的真空等离子体腔室，它包括用于与腔室中的气体电气耦合并分别连接至第一和第二、相对较高和较低频率的ＲＦ电源的第一和第二电极。该腔室包括处于参考电位的一壁，和一与该壁间隔开的等离子体约束区域。一连接至诸电源和诸电极的滤波器结构使...
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