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本发明包括一种处理物理汽相淀积靶的方法（１００）。该靶具有溅射表面（１３６）和在该溅射表面的周缘处的侧壁边缘（１０５）。该方法包括将一工具压在该侧壁边缘上，以在该靶的侧壁边缘中形成印迹（１４０）的分布。接着该工具（１２０）被从该侧壁边缘移去...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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