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公开了一种用离子束（ＩＢ）对聚合物，金属和陶瓷材料进行表面改性的装置，该装置能够提供并控制一种施加于材料上进行表面改性的电压（２２０）以控制照射到该材料上的离子束的能量，能够区别在部分真空室中的反应气体的真空度，在该真空室中离子束从产生离子...
该专利属于韩国科学技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过韩国科学技术研究院授权不得商用。

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