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化学物质的检测装置以及化学物质的检测方法制造方法及图纸
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文档序号:3154751
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本发明的化学物质的检测装置(100)具备真空紫外光灯(3),通过该真空紫外光灯(3),将废气Gs中的检测对象化学物质离子化。被离子化的检测对象化学物质被封闭在内部形成高频电场的离子捕获装置(10)内。通过SWIFT波形(其包含将与该检测对象...
该专利属于三菱重工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱重工业株式会社授权不得商用。
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