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等离子体发生器（１０），包括伸展在气体源与处理室之间的等离子体管（１６）、该等离子体管一端上的端盖（８０）和等离子体管与端盖之间围绕等离子体管延伸的密封（４０、４２）。该端盖包括伸入等离子体管中的突起（８４）。...
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