下载芯片研磨机的研磨液喷液装置的技术资料

文档序号:31530007

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本实用新型公开一种芯片研磨机的研磨液喷液装置,包括箱体、电机一、下研磨盘、顶板、液压缸、连接板、电机二、从动轴、输液泵和上研磨盘,其特征在于:所述的箱体顶部设置有立柱、排污槽,所述的电机一设置在箱体内底部,所述的下研磨盘安装在传动轴一上,所...
该专利属于安徽格楠机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽格楠机械有限公司授权不得商用。

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