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为了能够实现相对宽的磁控管溅射阴极，建议，在托架（２）的真空侧上布置具有一个背板（３）的溅射靶（４），该背板到托架（２）保持一个缝隙（１４）。背板（３）形成为冷却板。在冷却板内存在冷却剂管（１５），其经过通过托架（２）的入水口（１６）提供冷...
该专利属于应用菲林股份有限两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用菲林股份有限两合公司授权不得商用。

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