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一种飞秒电子衍射装置制造方法及图纸
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文档序号:3152243
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本发明公开了一种飞秒电子衍射装置。该装置包括光源、电子产生和控制系统、样品室、电子测量和成像系统、真空系统和五轴控制系统。其中电子产生和控制系统是本发明的核心,包括光阴极、阳极、磁透镜、X方向偏转板和Y方向偏转板。本发明将X方向偏转板或Y方...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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