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本实用新型公开了一种用于半导体晶圆生产的抛光设备，包括底座，所述底座的一端上固定连接有支撑板，所述支撑板上设有安装槽，所述安装槽内固定连接有轴承，所述轴承内固定插设有支撑柱，所述支撑柱的顶部一侧固定连接有安装框，所述安装框内转动连接有丝杆，...
该专利属于深圳市长方集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市长方集团股份有限公司授权不得商用。

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