下载形成微组件的方法的技术资料

文档序号:3151840

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本发明公开了一种形成微组件的方法,其中该方法是在有等离子体发生气体的条件下进行的,包括步骤:提供材料;把夹杂物移入到材料内;对材料做热处理,使得夹杂物在材料内开始形成气泡;使气泡聚集,以形成多孔外壳;以及冷却该外壳,使得当外壳冷却时,等离子...
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