温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种形成多个微组件的方法，包括步骤：在第一基板和第二基板的至少一个上形成多个腔室；在有等离子体发生气体存在的条件下，将第一基板与第二基板固定，使得在固定时多个腔室中充入等离子体发生气体。...
该专利属于科学应用国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过科学应用国际公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。