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转印模及其制造方法和精细结构的制造方法技术
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文档序号:3151805
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本发明涉及具有转印图案层的转印模,该转印图案层具有含有聚合物材料的、具有阳纹突出图案的表面,并且被基底层支承,该基底层含有与该转印图案层不同的材料。本发明还涉及转印模的正相复制品和反相复制品的制造方法,以及由转印模的模制复制品得到精细结构(...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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