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一种离子束装置，包括：发出离子束（４）的离子源；用于从输入的离子束（４）中分离并取出所需质量的离子束（４）的质量分离电磁体（６）；用于在不变的扫描表面内绕不变的扫描中心（Ｐ）扫描输入离子束（４）并将其取出的扫描器１２；静电偏转器，用于以扫描...
该专利属于日新意旺机械股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过日新意旺机械股份公司授权不得商用。

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