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一种处理工件的等离子体处理器包括具有频率２ＭＨｚ、２７ＭＨｚ和６０ＭＨｚ的源，它们由三个匹配网络施加于包含工件的真空腔中的电极。可选择地由第四匹配网络将６０ＭＨｚ施加于第二电极。基本上调谐到驱动其的源的频率的匹配网络包括串联电感，所以２ＭＨ...
该专利属于拉姆研究有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉姆研究有限公司授权不得商用。

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