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提供了一种控制多微柱中的电子束的方法，其中具有电子发射器、透镜以及偏转器的单元微柱被排列在ｎ×ｍ矩阵中。电压被均等或者不同地施加给各个电子发射器或者吸引器。相同的控制电压或者不同电压被施加给各个吸引器的控制划分区域中的坐标区域从而偏转电子束...
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