下载纳米晶薄膜的无交联剂、无光刻胶的直接光致图案化方法的技术资料

文档序号:31506581

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本发明公开一种纳米晶薄膜的无交联剂、无光刻胶的直接光致图案化方法,该方法包括如下步骤:将纳米晶分散在非极性溶剂中,通过溶液法制成薄膜;将透射紫外光的光掩模版覆盖薄膜,并在紫外光照射下曝光;采用非极性溶剂进行显影,由于配体断裂导致溶解度改变,...
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