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本发明涉及一种大型高功率真空等离子体处理装置,包括底座、移动罐体、等离子体处理模块、固定罐体、控制系统和真空泵。所述等离子体处理模块具有用于固定绕满物料的物料桶和空的物料桶,所述物料桶之间排列有滚筒,绕满物料的物料桶上的物料从物料桶引出后,...该专利属于四川大学山本机械(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川大学山本机械(苏州)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种大型高功率真空等离子体处理装置,包括底座、移动罐体、等离子体处理模块、固定罐体、控制系统和真空泵。所述等离子体处理模块具有用于固定绕满物料的物料桶和空的物料桶,所述物料桶之间排列有滚筒,绕满物料的物料桶上的物料从物料桶引出后,...