下载槽加工装置以及槽加工方法的技术资料

文档序号:31502685

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通过激光束(LB)在对象物的表面形成槽的槽加工装置(100)具备:输出激光束(LB)的光源装置(11);将从光源装置(11)输出的激光束(LB)反射的多面镜(10);设于由多面镜(11)反射的激光束(LB)的光路上且将激光束(LB)聚光的聚...
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