下载槽加工装置以及槽加工方法的技术资料

文档序号:31502684

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通过激光束在对象物的表面形成槽的槽加工装置(100)具备:输出激光束的光源装置(11);将从光源装置(11)输出的激光束反射的多面镜(10);以及设于从多面镜(10)反射的激光束的光路的光学系统,其具有:聚光部(13A),使从多面镜(10)...
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