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公开了沉积过程中的钝化和选择性的量化。所述钝化通过计算图案线和空间上的膜厚度进行估算。使用XPS信号，其采用X射线通量数进行归一化。该方法对于计算选择性沉积过程中的厚度是有效的，其中所述厚度能够用作测量选择性的度量。每种材料的所测量光电子能...
该专利属于诺威量测设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺威量测设备公司授权不得商用。

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