温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种半导体结构的形成方法,包括:提供基底,所述基底包括相邻的隔离区和有源区,所述基底包括衬底和位于衬底表面的鳍部;在所述有源区上形成第一伪栅极结构,所述第一伪栅极结构横跨所述鳍部表面,且所述第一伪栅极结构覆盖部分所述鳍部的顶部和侧壁表面;在...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种半导体结构的形成方法,包括:提供基底,所述基底包括相邻的隔离区和有源区,所述基底包括衬底和位于衬底表面的鳍部;在所述有源区上形成第一伪栅极结构,所述第一伪栅极结构横跨所述鳍部表面,且所述第一伪栅极结构覆盖部分所述鳍部的顶部和侧壁表面;在...