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本公开提出一种基于机器视觉的蚀刻液浓度实时监测方法及系统，通过结构相似度来度量蚀刻过程中的蚀刻液图像与原始浓度蚀刻液图像间的关系，结合了蚀刻液图像的全局和局部特征，充分描述了不同浓度蚀刻液之间的特征差异，同时采用高斯混合模型对结构相似度值及...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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